Exigences de mesure
Scanner la topographie tridimensionnelle de la surface du composant électronique, extraire le profil mesurer la différence de segment et la rugosité à plusieurs endroits de sa surface

Aperçu des principales caractéristiques
1. Mesure sans contact, conception intégrée

2. Scan de topographie 3D, traitement de données multifonctionnel
3. Adapté à la mesure précise de divers matériaux

4. Facile à utiliser, facile à installer et à enlever

5. Vitesse de balayage rapide et haute précision de positionnement

6. Garantie de précision de répétition de ± 0,5 à ± 1 μm

7. Haute stabilité et forte capacité anti - interférence

Résultats de mesure
Les mesures par site sont sensiblement proches des valeurs standard

Résolution des problèmes rencontrés par les dispositifs de mesure à ce stade

1. Certaines exigences pour le matériel de mesure
2. Mesure de contact, il y a des dommages au matériel de mesure
3. Petite plage de mesure, position incertaine, difficile à déterminer
4. Vitesse de mesure lente, faible précision, grande erreur de mesure

5. Structure complexe et coût élevé